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产品名称:OX400氧化锆氧分析仪

产品品牌:YOKOGAWA横河

产品类别:氧化锆分析仪

产品型号:OX400

产品信息

OX400氧化锆氧分析仪的详细资料:

 

OX400低浓度氧化锆氧分析仪:

OX400-5-N-R-E-H、OX400-5-N-T-E-H、OX400-5-A-T-E-H、OX400-3-A-T-E-H

横河电机zui新推出的氧分析仪OX400,是公司在该技术的长期经验积累和优秀业绩基础上研发出来的。
  低浓度氧化锆氧分析仪OX400的氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积技术,在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离,还可以减小传感器尺寸,确保高速响应和长寿命。
  低浓度氧化锆氧分析仪OX400可用于控制和监视各种半导体应用,并控制环境,空气泄漏入惰性气体及其他过程。

·         用于半导体扩散炉和烘干炉,以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制

·         用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度,以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量

·         测量氧气浓度,防止粉尘运输中粉尘爆炸

特性:

使用寿命长,响应速度快

·         由于使用了横河电机的新型薄膜沉积技术,传感器的寿命周期提高了三倍

·         圆柱形传感器设计便于置换被测气体,确保高速响应

高性能和高可靠性

·         即使在低氧浓度下,仍具有极高的精度和线性

·         在不同应用中,可选择泵式或抽提采样方式

内置功能和多种自诊断功能

·         自带多选择器,自动量程,特定量程以及泵开/关功能

·         提供多种自诊断功能,以检测故障,如加热器温度错误,温度传感器断偶和传感器电阻值错误

出众的维护性

·         可现场更换传感器

·         小型轻量,易于安装

规格:

测量对象

惰性气体中的氧气浓度
  (易燃性气体、二氧化硅、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外)

测量系统

氧化锆系统

采样方法

泵式,抽提式等

样气条件

流速: 200 ± 25ml/min(仅用于传感器)
  温度: 0~50℃(无结露)
  湿度: 无结露
  压力: 0~300PaG
  zui大容许压力: 30kPaG

测量量程

0-10ppm O2至0-100vol% O2

输出量程

自动:0-10ppm,0-100ppm,0-1000ppm,0-1%,0-10%,0-100%(默认)其他: 可设为0- 0ppm,0-     00ppm,0-000 ppm,0- %,0- 0%,0-100%,1~9的整数固定:设为0-10ppm,0-100ppm,0-1000ppm,0-1%,0-10%,或0-100%部分:可设置下限值或上限值

模拟输出

2路输出,
  一次: 4~20mA DC(zui大负载电阻: 550Ω)
  二次: 可选为0~1,0~5,0~10V DC(负载电阻:   10kΩ或更大)

接点输出

报警输出2点:错误接点,O2浓度报警接点指定量程范围输出1点:接点输出多选择器(选配件):流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出

接点输入

1点: 采样气体吸入泵的远程ON/OFF

自诊断

错误(故障):传感器错误,加热器温度错误,温度传感器断开,设备温度错误,CPU错误,FAN停止报警(警告):加热器不稳定,传感器错误,电动势异常,非对称电压错误错误,标定错误,传感器电阻错误,O2浓度上/下限,超限

串口通信

RS-232,38400 bps

标定方法

(1)3点: 10ppm,1000ppm,空气,(2)2点: 可设定为零点气和量程气标定,(3)1点,(4)空气标定

暖机时间

20分以内

电源

100 - 120V AC/220 - 240V AC,50/60Hz

功耗

100~120V AC,200VA zui大,220~240V AC,400 VA   zui大

尺寸

213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm

质量

约5kg

管线连接

气体入口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹
  气体出口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹

环境条件

安装条件:室内,盘装或壁装,非易燃区域环境温度:0~40℃,无结露环境湿度:5~85%RH储存温度:-5~50℃

符合的安全标准
  和EMC标准

安全标准:61010-1:2001EMC:EN 61326-1 Class A,Table 2(用于工业现场) EN 61326-2-3,EN 61000-3-2,EN 61000-3-3

特性:

重复性

±1%F.S.(10,100,1000 ppm,1%,10%或100%)

线性

±2%F.S.
  ±3%F.S.
(0~100ppm或更低)

响应时间

90%响应
  10秒内(0~1%或更高)
  30秒内(小于0~1%)

漂移

±2%F.S./


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